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    3. 新聞資訊

      【兆恒機械】半導體設備真空腔體密封面解決方案

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      • 添加日期:2022年03月17日

      Belt Track Finisher (帶式磨削) 加工裝置。

        Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置是實現超真空面密封無研磨加工的另一項場景應用,是加工中心直接將真空裝置的密封面加工成高品質量,實現其表面實現超高真空密封效果的可行性方案之一。

        Belt Track Finisher (帶式磨削)加工裝置:




        傳統的加工方式,由于刀具旋轉會產生從內側到外側的切削痕跡。

        真空密封面中氦氣沿著切削痕跡泄漏,無法維持真空。

        為了保持高真空狀態,必須進行研磨作業。

        帶式磨削精加工裝置,研磨紋理可以跟工具前進方向平行運動,沒有從內側到外側的切削痕跡,因此真空面沒有泄露。



        加工特點

        ?沿工具前進方向平行的研磨紋理

        ?沒有真空泄露方向的切削痕跡




        關鍵技術

        ?新開發的接觸輪,提高研磨效率

        ?帶式磨削工藝,不留切削痕跡

        ?更換砂帶簡單,自動調整張力

        ?無需氣管、電線??墒褂?ATC,實現連續加工

        ?選擇不同的砂帶寬度和顆粒度,可以加工多種材料



        加工案例





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